울산대학교 | 울산화학산업전주기분석센터
본문바로가기
ender
센터보유장비
표면분석

표면분석

보유장비소개

보유장비소개
번호 사진 설명
1

한글장비명

원자간력현미경

영문장비명

Atomic Force Microscope

제작사명 / 모델명

파크시스템스 / NX10

원리 및 특징

AFM은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져 갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정함으로써 나노미터크기 이하의 미세한 시료 표면의 3차원적 형상을 알아내는 장치이다. 일반 대기중에서 시료 표면의 전처리 과정 없이 , 도체, 반도체 및 부도체에 상관없이 시료 표면의 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있다. 또한 액체 내에서도 측정이 가능하며 시료의 표면, 전기적, 자기적(磁氣的), 기계적, 물리적 특성 및 물질 상호 반응 현상 등을 측정 할 수 있다.

주요구성 및 성능

AFM본체 기본 구성

*AFM 콘트롤러 / 데이터 처리 시스템

*50um x 50um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어

*15um 수직(Z) 스캐너

*20mm 고정밀도 수평(XY) 모터 스테이지

*고해상도디지털 CCD 카메라 : 디지털 줌 가능

*XEP 데이터 수집/분석 소프트웨어

*XEI 화상 이미지 처리 소프트웨어

*실시간 CCD 카메라 영상 이미지 표현

*액티브 진동차단 시스템 

*일체형 소음 차폐장치 

*Enhanced EFM (EFM, SKPM, DC-EFM, PFM)

*Magnetic Force Microscopy 

*Force Modulation Microscope and Force Volume Microscope

담당 교수님

이형일 교수님

사용 문의

052-712-8028 / te6521@ulsan.ac.kr

2

한글장비명

고분해능 표면분석현미경 시스템

(전계방사형 주사전자현미경)

영문장비명

High Resolution Surface Analysis Microscope System

(Field Emmission Scanning Electron Microscope)

제작사명 / 모델명

Jeol / JSM-7610F

원리 및 특징

1~30 kV의 전위로 발생된 고에너지의 전자를 시료의 표면에 주사하여 발생되는 2차 전자의 탐지를 통해 고체시료, 나노소재의 표면 구조 분석 및 성분을 분석에 사용 한다. 본 장비를 통해 발생되는 2차 전자 및 다양한 생성신호(탄성산란에 의한 전자의 반사, 비탄성 산란에 의해 생성된 전자)등은 각각의 3차원적인 구조 관측을 가능할 수 있게 할 뿐만 아니라 원소 특유의 전자구조 때문에 성분분석까지도 가능하게 한다. 이 장비는 무기화학실험에서 뿐만아니라 다방면에서 활용 한다.

전자선을 고속으로 가속시켜 전자선이 시료와 상호작용으로 발생한 신호를 전자기렌즈와 금속조리개로 조절하여 관찰하고자하는 시료의 표면에 주사하여 고분해능 영상을 얻고 또 시료의 화학적조성 및 Image mapping을 통한 분포를 알 수 있는 System이다.

주요구성 및 성능

*SEI resolution :1.0nm (15kV),1.3nm (1kV),

During analysis 3.0 nm (15 kVprobe current 5 nA)

*Magnification : 25 to 1,000,000

*Accelerating voltage 0.1kV to 30kV

*Probe current : A few pA to 200nA

담당 교수님

이동호 교수님

사용 문의

052-712-8028 / te6521@ulsan.ac.kr

3

한글장비명

에너지 분산형 X-선 분광기

영문장비명

Energy Dispersive X-ray Spectrometer

제작사명 / 모델명

Oxford Instruments Nanoanalysis

/ AZtec Energy for JSM-7610F

원리 및 특징

샘플에 전자빔이 주사되면 원자 내 전자가 에너지를 흡수하여 들뜬 상태가 되고, 다시 안정화 되면서 특정 X선을 방출하게 된다. 이때 방출되는 X선은 물질마다 고유한 에너지 값을 가진다. 따라서 detector를 이용하여 X선을 관측하고, 관측된 X선 분석을 통하여 샘플의 정성, 정량 분석을 할 수 있는 system이다.

주요구성 및 성능

*64bit Microanalytical Processor

*Advanced digital scanning system

*Unique Single Large Area Analytical LN2 Free Silicon Drift Detector

*Sensor chip area : 65mm2, Active area : 50mm2

*Energy resolution 127eV at 50,000cps

담당 교수님

이동호 교수님

사용 문의

052-712-8028 / te6521@ulsan.ac.kr

4

한글장비명

현미경 카메라 시스템

영문장비명

Microscope camera system

제작사명 / 모델명

Nikon / Eclipse Ti-U

Andor Technology / SR-303I-A

원리 및 특징

■ 광학현미경은 빛을 이용하여 미세한 구조물을 확대하여 영상화하고 분석하는 장비임. 시료로부터의 형광을 이용한 광학영상 촬영 및 분석이 가능.

■ 시료를 통과하는 빛의 미분간섭을 이용한 광학영상 촬영 및 분석이 가능. 시료에서 산란되는 빛을 이용하는 암시야영상법(Dark-field microscopy)을 이용한 광학영상 촬영 및 분석이 가능.

■ 라만분광기는 강력한 레이저를 발사했을 때 라만효과에 의해 방출되는 산란 빛을 그 세기와 파장에 따라 스펙트럼을 얻어 다양한 유-무기 소재의 화학적/물리적 구조를 분석할 수 있는 진동분광기. 

■ 공초점 라만분광법은 시료의 한 특정 장소를 포인트로 분석하거나 시료의 스캔을 통해 라만지도를 구하는데 활용 가능.  라만피크 및 라만지도를 통해 그래핀 등 다양한 에너지 하베스트 및 에너지 스토리지 소재들의 화학 조성 및 분자구조, 결정성, 표면 구조 등을 분석.

주요구성 및 성능

연구용 니콘 도립현미경. 40~100배의 대물렌즈와 X 10 의 접안렌즈로 구성되어 있어 최대 가능배율 1000 배임. CCD 카메라와 비디오 카드를 이용하여 이미지 capture 및 저장도 가능한 기술장비 현미경. 형광현미경(Fluorescence microscopy), 미분간섭현미경(DIC microscopy), 암시야현미경(Dark-field microscopy)에 필요한 다양한 광학 장치들이 하나의 현미경에 통합된 복합 광학현미경 시스템.

■ 303i Monochromator (303 mm focal length), Motorized, Czerny-Turner Spectrograph, 0.1 nm resolution, Interchangeble triple turret, 3 gratings (300, 600, 1200)

■ 785 nm Raman filter set (Notch, Bandpass, Dichroic filter)

■ Mapping piezo-stage with software for Nikon Eclipe Ti Microscope, Scan range 130 x 85 mm, Resolution 0.01 um (smallest step size), Travel speed 120 mm/s

담당 교수님

하지원 교수님

사용 문의

052-712-8028

5

한글장비명

내부 전반사 현미경

영문장비명

Total Internal Reflection Microscope

제작사명 / 모델명

Tirf Lab/PuTiRF-1004

원리 및 특징

TIRF는 TIRF 도광체(슬라이드) 표면에서 또는 표면에 근접한 subwavelength 내부에서 발생하는 상호 작용을 선택적으로 감지하는 표면 선택적 기술으로, 표면에 고정된 분자와 용액의 리간드 간 생체분자 상호작용을 관찰하기에 적합한 현미경이다. 관찰하고자 하는 살아있는 세포 또는 분자는 내부 전반사에 의해 생성된 evanescent wave의 표면 또는 표면 내부의 얇은 층(~100 nm) 내에 존재하도록 특정 수단을 통해 TIRF 표면에 부착, 흡착 또는 결합된다. 리간드 표면의 evanescent wave를 벗어나 용액 속에 있는 분자는 들뜨지 않고 형광을 띠지 않으므로, TIRF는 표면 결합입자의 신호와 용액의 신호를 이러한 형광 변화를 통해 구별할 수 있어 특히 복잡한 바이오 시료의 연구에 특히 편리하다.TIRF는 ~100 nm의 얕은 투과 깊이를 보이고 이는 공초점 현미경의 약 100배의 공간적 선택성이다. 또한 TIRF는 초해상도 현미경 기법 중에서도 보다 향상된 background 감소율과 S/N 감소율을 보여 단일 분자 검출 연구에 효과적이다.

주요구성 및 성능

Designed for use with inverted fluorescence microscopes Angle of incidence : 70 degrees Depth of evanescent wave penetration : ~100 nm Excitation wavelengths with silica optics : 190 nm ~ 800 nm Area of the evanescent wave : 0.1 mm x 1 mm ~ 4 mm x 10 mm Reproducibility of TIRF slide *z" positioning : +/-0.05 mm TIRF prism and TIRF slide are manufactured from low fluorescence silica Optical window at the fluidic block : low fluorescence plastic 0.17 mm Fiber optics cable UV silica : 100 micron fiber Fiber optics cable connectors : FC-PC Fiber optics cable acceptance angles : +/-12.5 degrees-NA 0.22 Volume of closed flow cell : approx 10-30 uL. Flow system designed to reduce dead volume and increase flow shear rate at the TIRF surface.

담당교수님

하지원 교수님

사용문의

052-712-8028